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夏夜,空调外机在窗外发出沉闷的轰鸣,客厅里的空气却像凝固了一般。电视屏幕上,财经频道的主播正对着一组数据摇头:“……荷兰ASmL最新公告显示,其第四代EUV光刻机将不再对我国企业开放采购权限,受此影响,国内多家芯片制造企业的7纳米以下制程生产线被迫停工,手机、新能源汽车、人工智能等行业的研发进度至少滞后18个月……”

何雨柱的手指无意识地在沙发扶手上摩挲,留下几道浅浅的痕迹。他侧头看向身旁的李小丫,她正咬着下唇,握着遥控器的手紧得指节发白,屏幕的光映在她眼里,像淬了冰的火。“这哪是卡脖子,分明是想把路堵死。”何雨柱的声音带着胸腔里闷出来的沉,“丫头,你还记得我跟你说过,我那点‘特殊本事’?”

李小丫抬眼,睫毛颤了颤。她太懂他这语气里的分量——不是商量,是下定了决心。“记得。”她顿了顿,指尖在遥控器边缘划了个圈,“但你要做的事,风险太大了。那些地方的安保,可不是小区门卫……”

“再难也得去。”何雨柱站起身,走到窗边拉开窗帘,城市的光污染把夜空染成了淡紫色,远处的高楼亮着零星的灯,像困在笼子里的星。“没图纸,没样板,咱们的研究就是瞎子摸象。他们能攥着技术不让咱们看,那咱们就自己去‘看’。”他说话时,指尖泛起一层极淡的光晕,那是催动隐身术的前兆,像水墨画里晕开的淡墨,“等我消息,天亮前准回。”

李小丫没再劝,掌心相触时,能感觉到他指腹上常年磨出的薄茧,带着点粗糙的温度,“监控、红外、甚至可能有声波探测器,你千万当心,安全第一。”

何雨柱捏了捏她的手,掌心的温度透过皮肤传过来,像暖炉似的。“放心,你老公这点分寸还是有的。”话音落,他周身的光线开始扭曲,像被投入水中的墨,渐渐晕开、消散。下一秒,原地只剩空气中残留的一丝若有若无的金属味——那是他飞剑表面的材质气息。

窗外,一道几乎看不见的流光贴着云层掠过,朝着西北方向疾驰。目标清晰无比:荷兰ASmL总部的核心研发资料室,以及德国蔡司公司的光学镜头实验室。

ASmL研发中心的安保系统号称“连一只蚊子都飞不进去”。红外扫描仪每0.3秒就扫过整个区域,声波探测器能捕捉到0.1分贝的异动,更别提墙角那些伪装成灭火器的量子监控探头。但此刻,何雨柱就站在核心资料室的正中央,像个透明的影子。

他甚至能听到自己的心跳声,在这寂静的空间里格外清晰。他屏住呼吸,不是怕被听到,而是怕气流扰动触发天花板上的气压传感器。脚尖点地时,他用了三分内劲,把全身重量分摊到几个微米级的接触点上,连地板下的震动传感器都毫无反应——这是他练了几十年的功夫,早已融入本能。

资料室是个巨大的玻璃舱,恒温22度,恒湿45%。金属架子上整齐码着钛合金档案盒,最里面的那排标着“EUV核心参数——最高权限”,盒子表面还泛着淡淡的冷光。何雨柱闭上眼,眉心轻轻跳动了一下,神念像一张细密的网,悄无声息地铺展开来。

这神念不同于普通的意识,带着他修炼多年的气劲,能穿透金属、玻璃,甚至能“看”到纸张上墨水的分子排列。“嗡——”神念触碰到档案盒时,他“看”到了里面的图纸:光刻机的光源系统结构图上,每一根线路都标着精确到小数点后四位的参数;激光波长校准公式旁边,还写着研究员随手记下的“湿度超过50%需加0.02修正值”;工作台的纳米级位移控制图上,用红笔圈出了三个容易出错的齿轮咬合角度……

他没有碰那些档案盒,只是让神念像扫描仪一样,以每秒百万帧的速度“复印”。这些信息像潮水似的涌入他的脑海,条理清晰得像被自动分了类——这是他多年修炼出的特殊能力,记忆力堪比顶级服务器,且过目不忘。三个小时,他“读”完了所有纸质资料,连最边角的备注都没落下。

接下来是电子档案库。服务器藏在墙壁的夹层里,外面装着生物识别锁和十二位的动态密码锁。何雨柱的神念化作一根极细的丝,探入服务器的电路中,顺着电流的轨迹游走。那些看似复杂的密码在他眼里,不过是一串数字规律——前六位是圆周率的第123到128位,后六位是公司成立日期的倒序排列。半分钟后,密码被破译,屏幕上跳出“欢迎访问”的界面时,他甚至能“听”到服务器硬盘转动的轻微声响。

电子资料比纸质的更庞大:数万次实验的原始数据,每次故障的分析报告,甚至还有工程师们在内部论坛争论的技术细节。神念在数据流中穿梭,像个精准的筛子,把有用的信息挑出来、分类、存储。等处理完最后一份文件时,天边已经泛起了鱼肚白,玻璃舱外的走廊传来了保洁人员推车的声音。

他没敢多留,转身掠向德国蔡司实验室。那里藏着光刻机最关键的部件——光学镜头样板。那是用特殊晶体打磨而成的,表面精度误差不超过0.1纳米,全世界只有三台,被锁在钨钢打造的保险库里。

蔡司实验室的保险库比他想象的更坚固,锁芯是复合合金材质,硬度堪比钻石。何雨柱从袖中滑出飞剑,那剑只有手指长短,通体乌黑。他用指尖捏着剑柄,在锁芯上轻轻一点,内劲顺着剑身注入,钨钢锁芯像被热水泡过的冰糖,无声无息地出现一个小孔。

他探出神念,小心翼翼地“包裹”住那枚巴掌大的镜头样板。样板是淡蓝色的,像一块凝固的天空,表面光滑得能映出人的影子。神念一寸寸扫过,记录下内部的晶体结构、镀膜的层数、每层的折射率,甚至连表面一个肉眼根本看不见的、直径只有0.05纳米的分子缺陷都没放过。扫描完毕,他把样板放回原位,甚至调整了角度,与监控画面里的初始位置分毫不差。

回程时,飞剑冲破云层,带着他往家的方向飞。何雨柱摸了摸怀里的保温杯,还温着。他低头“看”了眼脑海里密密麻麻的资料,嘴角忍不住勾起一抹笑:“第一步,成了。”

“这不可能!”材料学专家老王把实验报告拍在桌上,眼镜滑到了鼻尖,他也顾不上推。“按照资料里的配方,这光学玻璃的透光率应该能到99.99%,但我们做了三次,最高才99.87%。别小看这0.12个百分点,在纳米级光刻里,这就像隔着一条马里亚纳海沟!”

何雨柱正趴在光学检测仪器前,眼睛贴着观察口,手里还捏着个放大镜。他侧耳听着老王的话,神念却早已探入那块玻璃内部,像个微型探测器,仔细“看”着每一个细节。“找到了。”他直起身,声音带着点沙哑——这是连续三天没合眼的后遗症,眼底还有淡淡的红血丝,“熔炼时的温度梯度没控制好。”

他走到白板前,拿起马克笔,笔尖在板上划过,留下清晰的痕迹。“资料里写的是‘恒温熔炼’,但没说环境气压要跟着温度变。我在蔡司的实验记录里看到过补充参数:气压每升高10帕,温度得降低0.3摄氏度,不然玻璃内部会产生微小的气泡。”他画了个温度-气压曲线图,线条流畅,“你看,我们之前只盯着温度,没管气压,这几个小气泡就是这么来的,刚好挡了光。”

老王凑过去看,手指点在图上的拐点处:“难怪!我就说怎么每次熔炼到600度就不对劲,原来问题在这儿!”

李小丫端着一托盘咖啡走进来,把一杯放到老王手边,又把另一杯塞进何雨柱手里。杯子是温热的,掌心一触,何雨柱感觉紧绷的神经都松了点。“凌晨四点了,你们都歇半小时。”她的声音带着点疲惫,眼底也有红血丝,却笑得温和,“我刚联系了上海光机所,他们那有台带气压联动装置的熔炼炉,下午就能调过来,比咱们现在用的精度高三个等级。”

何雨柱喝了口咖啡,苦涩的味道让他精神一振。他看向李小丫,她正低头翻着手里的笔记本,上面记满了密密麻麻的联系人电话和设备参数,纸页边缘都被翻得起了毛。这些天,她不仅要协调全国的科研资源,还要盯着供应链——很多原材料国内没有,她得想办法从非限制渠道弄来,光是找替代的稀土元素,就打了上百个电话,熬了好几个通宵。

“丫头”何雨柱忽然开口,指着桌上的光学涂层样本,“上次你说的那个配方,我对照样板再看了看,发现里面多了种咱们没考虑到的掺杂剂。是钕元素的同位素,含量只有0.001%,但能让光反射率降一半。”

李小丫立刻抬起头,眼里闪过一丝亮光,赶紧从口袋里摸出笔:“含量这么低?难怪我们检测时没发现。我马上去联系中科院的核素实验室,让他们帮忙制备,就说是‘特殊光学材料实验用’。”她转身要走,手腕却被何雨柱拉住了。

“别急,”他指了指自己的太阳穴,“资料里的镜头装配步骤有个坑。他们故意把两个镜片的安装顺序写反了,我对照样板的结构才发现——最后一片镜片的镀膜面朝外,不是朝内。等下我画张图给你,让装配组改过来,免得白费功夫。”

老王在一旁听得直咋舌,手里的咖啡都忘了喝:“何总,你这脑子是怎么长的?这么多细节,看一遍就记住了?”

何雨柱笑了笑,拿起桌上的抹布擦了擦手上的油墨:“不是记,是反复比对。把资料和样板的细节在脑子里拆开来、拼回去,错一点都能感觉出来。”他没说的是,神念早已把样板的三维结构和资料的每一个字都刻在了意识里,随时能调出来比对,比电脑检索还快。

距离第一台样机下线只剩一周,整个团队却被卡在了最关键的一步:工作台的纳米级位移精度。按照设计要求,工作台移动时的误差不能超过0.5纳米——这相当于头发丝直径的十万分之一。但试了几十次,最好的结果也只是0.8纳米,始终差那么“一点点”。

“问题出在伺服电机的振动频率。”何雨柱趴在工作台底下,耳朵贴着冰冷的金属外壳,神念顺着机械臂的传动结构一点点延伸。电机运转时发出的低鸣在他听来,像一首跑调的曲子,“你们听,电机转的时候,有个120赫兹的共振频率,正好会让工作台抖一下,虽然幅度小,但在纳米级精度里,就是致命的。”

年轻的工程师小张蹲在旁边,手里拿着频谱分析仪,屏幕上的波形确实有个明显的峰值:“可资料里给的减震方案我们都试过了,阻尼系数从0.1调到0.5,还是没用……”

“资料里的方案是针对他们自己的电机型号,咱们用的是国产替代电机,参数不一样。”何雨柱从工作台下爬出来,额头上沾了点灰尘,他随手抹了一把,反而蹭得更花。“我刚才用神念‘看’了电机的内部磁场分布,它的永磁体有个0.01特斯拉的微小偏差,就像齿轮上多了个小毛刺,转起来自然会抖。”他拿起笔,在纸上画了个简单的线圈草图,“在电机外壳加个这个,通0.3安培的电流,产生的磁场正好能抵消那个偏差,就像给齿轮上了点润滑油。”

李小丫站在旁边,手里拿着个笔记本,飞快地记着参数。她的手指有点抖,不是因为紧张,而是熬了太久,神经有点紧绷。“线圈的匝数、线径、材质……我现在就联系精密仪器厂,让他们加急加工,三个小时应该能出来。”她转身要去打电话,手腕却被何雨柱拉住了。

“等等,”他深吸了一口气,感觉太阳穴有点突突地跳。刚才分析磁场时,神念用得太急,气劲有点跟不上,眼前甚至闪过一丝发黑。“让我缓两分钟。”这些天,他几乎无时无刻不在用神念扫描、分析,白天盯着实验,晚上就在脑子里复盘资料,连合眼的时间都没有,身体早就发出了警告。

李小丫看出他脸色不对,赶紧扶他到旁边的椅子上坐下,又倒了杯温水递给他:“喝口水,歇会儿。”她的语气带着点不容置疑的强硬,眼眶却有点红,“不差这几个小时,你要是垮了,我们就算做出样机也没用。”

何雨柱接过水杯,温热的水滑过喉咙,熨帖了紧绷的神经。他看着李小丫眼里的担忧,心里暖烘烘的。“没事,”他握住她的手,掌心的温度能透过薄薄的皮肤传过去,“你看,就差这0.5纳米了,跨过去,咱们就赢了。”

三个小时后,新的矫正线圈送来了。技术员小心翼翼地把它装在电机外壳上,接好线路。当工作台再次启动,激光干涉仪的屏幕上,误差数值一点点下降,最后稳定在0.48纳米时,实验室里爆发出压抑已久的欢呼。老王一把抱住何雨柱,胡子扎得他脖子有点痒,声音里带着哭腔:“成了……真的成了!”

何雨柱看着屏幕上跳动的数字,感觉鼻子有点酸。他转头看向李小丫,她正望着他笑,眼里的光比仪器的指示灯还亮,像落满了星星。他走过去,轻轻抱了抱她,声音很轻,却带着千斤重的力量:“你看,我们做到了。

样机启动那天,整个实验室静得能听到自己的呼吸声。何雨柱站在控制台前,指尖悬在红色的启动按钮上,能感觉到手心的汗——不是紧张,是激动。李小丫站在他身侧,悄悄握住了他的另一只手,她的手心也是热的,两人的温度透过交握的手传递,像在互相打气。

“各系统汇报状态。”何雨柱的声音比平时稳了三分。

“光源系统稳定,波长13.5纳米,功率误差±0.01%。”

“光学镜头组校准完成,聚焦精度0.05纳米。”

“工作台位移误差0.48纳米,符合标准。”

“光刻胶涂覆均匀,晶圆定位准确。”

一声声报告传来,何雨柱深吸一口气,按下了启动键。

光刻机发出轻微的嗡鸣,像沉睡的巨兽慢慢睁开眼。激光束穿过层层镜片,在晶圆表面刻下细密的电路图案,那些图案比蝴蝶翅膀上的纹路还要精巧,每一条线都只有几纳米宽。何雨柱的神念始终笼罩着整个过程,像个最精密的监控器:激光波长有没有偏移?工作台移动时有没有一丝一毫的抖动?显影液的浓度是不是刚好能让电路图案清晰浮现?

四个小时,像过了四个世纪那么长。当技术员用镊子小心翼翼地从设备里取出第一片芯片时,手都在抖。那是一片指甲盖大小的硅片,表面闪着淡淡的金属光泽,在灯光下,能看到密密麻麻的电路,像一座微缩的城市,每条“街道”都整齐得像用尺子量过。

何雨柱接过芯片,指尖传来微凉的触感。他用神念扫过,每一个晶体管、每一条导线都完美无缺,没有任何瑕疵。“参数达标,良率92%。”他说出这句话时,声音有点哽咽,才发现自己的后背早就被汗湿透了。

实验室里先是寂静,然后爆发出震耳欲聋的欢呼。有人互相拥抱,有人蹲在地上抹眼泪,有人把安全帽扔向空中。老王拍着何雨柱的肩膀,笑得合不拢嘴:“何总,咱们……咱们不用再看别人脸色了!”

李小丫走过来,从背后轻轻抱住他,下巴抵在他的肩上。她的头发蹭得他脖子有点痒,声音带着哭腔,却满是骄傲:“我就知道,你一定行。”

何雨柱转过身,把芯片递到她手里。“你摸摸,”他的声音有点哑,“这是咱们自己造的。”

李小丫的指尖轻轻拂过芯片表面,那微凉的温度里,仿佛藏着无数个日夜的灯光、无数次的争论、无数滴的汗水。她抬头看向窗外,天已经亮了,阳光透过玻璃照进来,落在芯片上,折射出七彩的光,像撒了一把碎钻。

“老公,”她用指腹摩挲着芯片边缘,忽然笑了,眼里还闪着泪光,“咱们得给它起个名字。”

何雨柱看着她手里那片承载着太多期盼的芯片,又看了看实验室里欢呼雀跃的人们——老王正拿着放大镜给年轻工程师们讲解电路细节,小张在角落里给家里打电话,声音激动得变了调,还有人在白板上写下“中国芯,我们造”几个大字,笔画用力得几乎要戳穿板子。他深吸一口气,那些熬红的眼、磨破的手、争论到沙哑的嗓子,此刻都化作了一股暖流,在胸口激荡。

“叫‘启程’吧。”他说,声音不大,却清晰地传到每个人耳朵里,“这不是终点,是咱们自己造芯路的第一步,是启程。”

李小丫重复了一遍“启程”,眼眶又热了。她知道这两个字的分量——它意味着从此不用再看别人的脸色,意味着实验室里这些天的煎熬没有白费,意味着那些深夜里的争论、挫败时的沉默、成功时的相拥,都有了最实在的落脚点。

这时,实验室的门被推开,老领导和几位领导快步走进来,脸上带着抑制不住的激动。“好小子!真让你们干成了!”老领导的声音洪亮,一把抓住何雨柱的手,用力晃了晃,“刚才接到工信部的电话,他们说这台光刻机要是能量产,咱们国家的芯片自主化率至少能提高三十个百分点!”

何雨柱笑了笑,指了指身边的团队:“不是我一个人的功劳,是大家一起拼出来的。”他看向李小丫,她正把芯片小心地放进特制的保护盒里,动作轻柔得像在呵护一件稀世珍宝。阳光落在她的侧脸上,给她疲惫却明亮的眼睛镀上了一层金边。

接下来的日子,团队没有丝毫松懈。“启程”只是第一步,他们要做的是让光刻机稳定量产,还要在此基础上升级技术。何雨柱每天依旧泡在实验室,用神念反复扫描设备的每一个部件,找出可以优化的细节。有时盯着光学镜头看久了,眼睛会酸涩流泪,他就用冷水洗把脸,甩甩头继续干;分析数据到深夜,脑子发沉,就站在窗边吹会儿风,看着远处零星的灯火,想起李小丫放在桌上的温牛奶,又能提起精神。

李小丫则忙着对接生产工厂,协调原材料供应。她带着团队跑遍了大半个中国,从稀土矿场到精密仪器厂,一遍遍核对参数、确认产能。有次为了赶在台风来临前把一批特殊晶体从海边工厂运回来,她跟着货车在高速上堵了整整一夜,凌晨时冻得发抖,就裹着毯子在驾驶室里打盹,醒来第一件事就是给实验室打电话,确认材料安全后才松了口气。

这天晚上,何雨柱在实验室调试新优化的光源系统,神念探入激光发生器,仔细感受着能量波动。忽然,他发现激光的稳定性比之前提高了15%,这意味着芯片的良率还能再升几个百分点。他兴奋地喊来老王:“你看!按照这个参数调整,咱们的良率能冲到95%!”

老王凑过来,看着屏幕上跳动的曲线,眼睛瞪得溜圆:“真的!这要是能稳定下来,比ASmL的最新机型还厉害!”

两人正说着,李小丫推门进来,手里拿着一份报告,脸上带着笑意:“好消息,第一家合作的芯片厂已经完成改造,下周一就能开始试生产。还有,咱们需要的特种玻璃,国内的厂子也能量产了,成本比进口的低一半。”

何雨柱接过报告,指尖划过“试生产计划”几个字,忽然觉得无比踏实。他抬头看向李小丫,她的头发有些凌乱,眼角带着疲惫,却笑得格外亮。他走过去,轻轻帮她理了理额前的碎发:“辛苦了。”

李小丫摇摇头,握住他的手,掌心的温度依旧温暖:“不辛苦。你看,咱们的‘启程’,真的要启程了。”

窗外,夜色渐深,实验室的灯却亮如白昼。光刻机的嗡鸣、键盘的敲击声、偶尔响起的讨论声,交织成一首特殊的夜曲。何雨柱看着眼前的一切,想起出发去国外“取”资料的那个夜晚,想起卡在0.5纳米时的焦虑,想起第一片芯片出炉时的激动,忽然明白——所谓奇迹,不过是无数个普通人,抱着同一个信念,一点一点往前挪,一步一步往上爬,哪怕磕磕绊绊,也绝不回头。

几天后,第一台量产型光刻机在工厂顺利开机。当它生产出第一片商用芯片时,整个车间爆发出雷鸣般的掌声。何雨柱和李小丫站在机器旁,看着传送带上缓缓移动的芯片,相视一笑。阳光透过车间的高窗照进来,落在他们身上,也落在那片小小的芯片上,折射出的光芒,仿佛能照亮更远的路。

“以后,咱们再也不用怕别人卡脖子了。”李小丫轻声说。

何雨柱点头,握紧了她的手:“不止不被卡脖子,咱们还要走在前面。”

远处的公告栏上,贴着一张新的海报,上面印着那片名为“启程”的芯片,下面写着一行字:“每一次突破,都是为了不再等待。”而实验室的白板上,老王又写下了新的目标:“下一代光刻机,目标3纳米!”

属于他们的故事,属于中国芯片的故事,才刚刚开始。

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