11月16日清晨。
京城东郊酒仙桥，灰色的天空下，低矮的厂房与苏式住宅楼轮廓分明，烟囱吐着白烟，街道上自行车流如织，上班的工人们裹着棉袄匆匆而行。
宋颜、吕辰、谢凯三人从红星轧钢厂出发。
轧钢厂与真空所相距不过几里地，穿过两条街道，便进入了另一片工业区域。
“就是前面了。”宋颜教授指着远处一栋红砖建筑。
真空所坐落在一片相对独立的院落中，只有几栋三四层的红砖楼，屋顶竖着通风管道和自制天线。
院墙刷着白灰，红漆写着的“自力更生，艰苦奋斗”标语，字迹已有些斑驳。
铁门紧闭，门口有持枪的卫兵站岗，神色严肃。
空气中飘散着一丝若有若无的臭氧气息，那是高压放电设备特有的味道。
整个区域给人一种集中与紧张感，仿佛正在进行一场看不见的战争。
卫兵仔细核验三人的介绍信和工作证后，打了个电话。
不一会儿，一个三十五六岁、戴着黑框眼镜的男人快步走了出来。
“宋教授！欢迎欢迎！”他热情地伸出手，声音清亮，“我是真空所‘星河计划’对接组的顾赟。这位是工业学院的文昭南教授，今天特地过来一起交流。”
顾赟身边站着一位五十岁上下的学者，面容清癯，眼神锐利，穿着灰色的中山装，胸前别着一支钢笔。
文昭南教授与宋颜握手：“宋教授，久仰。你们在轧钢厂的工作，我们都有所耳闻，了不起。”
“文教授过奖了。”宋颜谦逊道，又介绍了吕辰和谢凯。
顾赟打量了吕辰一眼，眼中闪过一丝惊讶，太年轻了。
但他很快恢复如常：“几位请进。我们所条件简陋，多包涵。”
穿过铁门，院子里的景象映入眼帘。
院子不大，水泥地面有些裂缝，角落里堆放着各种“废品”。
锈迹斑斑的真空泵壳体、裂了缝的玻璃钟罩、拆解到一半的电机、成堆的钢材和铜管。
这些并非真正的垃圾，而是被拆解、研究、等待重生的“器官”。
墙边立着一排木架，上面晾晒着各种玻璃器皿，烧杯、试管、蒸馏瓶。
两个年轻的研究员正蹲在水槽旁，用毛刷仔细清洗一套玻璃管道，动作轻柔得像对待婴儿。
主楼是一栋三层的苏式建筑，红砖墙面，窗户宽大，楼门口上方挂着白底黑字的牌子：“北京真空电子技术研究所”。
走进楼内，光线骤然暗下来。
走廊狭窄，水磨石地面磨损得露出了石子，两侧墙壁刷着浅绿色的油漆，已经泛黄起皮。
天花板上的电线裸露着，用瓷瓶固定，像蛛网般延伸向各个房间。
走廊两侧是一间间实验室，门牌上写着“真空物理组”、“薄膜工艺组”、“材料分析室”、“电子束实验间”……透过门上的玻璃窗，能看到里面摆满了各种自制的设备：缠绕着铜丝的线圈、玻璃与金属拼接的奇异装置、闪烁着暗红色光芒的电子管、绘满曲线和公式的黑板。
真空泵的低沉轰鸣、变压器的轻微嗡鸣、继电器的咔嗒声、算盘的噼啪声交织在一起。
“这边请。”顾赟领着他们上到二楼，在最里面的一间大实验室门前停下。
推开门，眼前的景象让吕辰屏住了呼吸。
这是一间约八十平方米的实验室，窗户被厚厚的黑色窗帘遮住，只留几盏白炽灯提供照明。
房间中央，矗立着一个庞大而粗糙的装置，真空薄膜沉积系统。
它的主体是一个巨大的玻璃钟罩，直径约一米，高约一米五，像一只倒扣的透明巨碗。
钟罩下方是不锈钢制成的基座，布满螺栓和密封槽。
基座中央，固定着一个石墨坩埚，周围缠绕着自制的高电阻加热丝，那是由细镍铬丝手工绕制而成的，已经因高温而氧化成暗红色。
从钟罩顶部伸下几根不锈钢管道，连接着几个手动气路阀门，阀门上贴着写有“N?”、“Nh?”、“Sih?”等字样的纸片。
管道的另一端，连接着墙角一排锈迹斑斑的钢瓶。
装置侧面，一台沉重的机械旋片真空泵正在工作，带动着整个地面微微震颤。
一根橡胶管从泵体伸出，通入旁边一个大铁桶，那是自制的冷却水循环系统，铁桶边缘还有漏水的痕迹。
没有数字显示屏，没有计算机控制台。
只有老式的仪器，一个热偶真空计，靠水银柱的高度显示真空度；几块指针式的电流表和电压表；一台自制的温度控制器，上面是粗糙的旋钮和刻度。
墙上贴满了手工绘制的图表，温度-时间曲线、气压-流量关系图、薄膜厚度与沉积速率对照表……都是用铅笔和三角尺绘制，线条工整，数据密密麻麻。
最引人注目的，是站在装置前的一位老师傅。
他约莫五十岁，身材瘦削，穿着深蓝色的工装，袖口挽起，露出布满烫伤和酸蚀痕迹的手臂。
他戴着一副用胶布粘着镜腿的老花镜，正俯身观察真空计的水银柱，手指轻轻调节着一个针阀。
他的动作极其缓慢、极其轻柔，仿佛不是在操作机器，而是在雕琢一件易碎的艺术品。
“刘师傅正在做一批氮化硅样品。”顾赟低声介绍，“今天运气好，正好赶上完整的工艺过程。”
几人安静地站在一旁观察。
刘师傅先检查了基片，那是几片一寸见方的玻璃片，已经经过严格的清洗，在灯光下晶莹剔透。
他用特制的镊子将基片放入钟罩内的样品架上，动作很稳。
然后按下启动按钮，真空泵的轰鸣声陡然增大。
刘师傅盯着热偶真空计，水银柱开始缓慢下降。
这个过程持续了将近二十分钟，期间刘师傅不时用改锥轻轻敲击管道的某些部位，侧耳倾听，像是在诊断病人的心跳。
“他在查漏。”文昭南教授低声解释，“微漏是真空系统的大敌。我们没能力买进口的氦质谱检漏仪，就用土办法，有时候用酒精涂抹可疑部位，看真空度变化；有时候充入氢气，用自制探测器找漏点。”
终于，真空度达到了要求，大约10??托。
接下来是预热。
刘师傅接通加热电源，缠绕在石墨坩埚上的电阻丝开始泛红，温度逐渐升高。
测温靠的是插入坩埚侧壁的一根老旧热电偶，连接的毫伏表指针缓缓偏转。
“温度控制是个大难题。”顾赟苦笑道，“加热丝是我们自己绕的，温场不均匀；热电偶的精度有限；控温电路就是简单的调压器。能控制在±10°c以内，就算成功了。”
吕辰看着墙上的温度曲线图，那上面用不同颜色的铅笔标注着多次实验的数据，曲线起伏如心电图。
每一次成功的沉积，背后都是数十次失败的摸索。
温度稳定后，真正的“魔法”开始了。
刘师傅缓慢地打开两个钢瓶阀门，一个是氨气，一个是氯硅烷，也就是Sih?与cl?的混合物。
气体通过手工打磨的针阀，进入管道。
没有质量流量控制器，没有比例阀。
流量控制，靠的是观察玻璃转子流量计里那个小浮子的位置。
浮子在玻璃管中上下浮动，刘师傅要根据浮子的高度，“估算”出气体的流量比例。
“氨气……大概每分钟150毫升。”他低声自语，手指微调阀门，“氯硅烷……30毫升。比例5:1。”
他的眼睛紧紧盯着两个流量计，整个实验室鸦雀无声，只有真空泵的低鸣和电流流过加热丝的轻微嗡嗡声。
气体进入钟罩，在高温的基片表面发生化学反应。
微观世界里，氨气与氯硅烷分子分解、重组，氮原子与硅原子结合，生成氮化硅，一层原子一层原子地“生长”在玻璃表面。
这个过程肉眼看不见，但刘师傅仿佛能“感觉”到。
他不时调节冷却水的流速，那根滴水的橡胶管连着铁桶里的水泵，水流快慢会影响钟罩内的温度分布。
他还不时用改锥轻敲某段管道，这是靠听声音来判断气流是否顺畅。
他嘴里念念有词，像是在进行某种仪式：“这回的‘火候’差不多了……左边温度好像高了点……”
整整四十分钟，沉积过程在一种高度紧张而又充满艺术感的氛围中进行。
终于，他关闭了气体阀门，停止加热，让系统自然冷却。
又过了二十分钟，他才小心翼翼地打开放气阀，让空气缓缓进入钟罩。
气压平衡后，他松开密封夹具，用液压装置缓缓升起玻璃钟罩。
钟罩内的景象展现在众人面前。
样品架上，那几片玻璃基片看上去依然透明。
但若对着灯光仔细观察，能看到表面覆盖着一层极薄的、略带虹彩的薄膜，像肥皂泡的色彩，又像雨后的油膜。
“成功了。”刘师傅长舒一口气，脸上露出一丝疲惫的笑容，额头上沁出了细密的汗珠。
他用特制镊子取出基片，放在铺着软布的木托盘里，端到旁边的工作台上。
接下来是检测，又是一系列“土法上马”的智慧。
膜厚测量用的是自制的椭圆偏振仪原型。
核心光学部件是从旧显微镜上拆下来的棱镜和透镜，装在一个手工打磨的铝制支架上。
光源是一盏经过滤光的钠灯，发出单色黄光。
研究员将样品放在平台上，调整角度，透过目镜观察干涉条纹的变化。
另一个人在一旁用计算尺和手摇计算器，根据条纹位移计算出膜厚。
“精度大概能到±50纳米。”顾赟说，“对于微米级的薄膜，勉强够用。但未来如果要做纳米级……”
他没有说下去，但意思很明显。
另一种更直观的方法，是在薄膜上滴一滴折射率匹配油，在单色光下观察牛顿环。
环的间距与膜厚有关，有经验的老师傅看一眼环的疏密，就能大致估出厚度。
膜质检测则用简易的电镀探针。
两个细如发丝的钨丝探针被固定在微调架上，轻轻压在薄膜表面，连接到一个自制的电阻测量仪上。
通过测量方块电阻，可以间接判断薄膜的致密性和导电性。
成分分析略显奢侈，一台老旧的苏制光谱仪占据了大半个房间。
要将样品放入真空室，用电子束轰击，激发出特征光谱，再用照相干板记录，最后在放大镜下比对谱线。
“分析一个样品，从制样到出结果，要大半天。”文昭南教授说，“数据还得手工计算，误差很大。”
尽管条件如此艰苦，但实验室的每个角落都透露出严谨与执着。
墙角立着几个木柜，里面整齐地摆放着一盒盒“成功样品”，每个盒子上都贴着标签，写着日期、工艺参数、测试结果。
旁边是厚厚一摞实验记录本，纸张已经泛黄，上面用钢笔写满了密密麻麻的数据、曲线、观察记录和心得体会。
墙上除了技术图表，还贴着几张褪色的宣传画：“向科学进军！”“攀登科学高峰！”画面里，工人与知识分子并肩而立，手指向远方的火箭与原子模型。
画纸边缘已经卷曲，但那种昂扬的精神，依然透过时光扑面而来。
实验室里的研究人员，大多穿着洗得发白的工装，手指有被酸液腐蚀或高温烫伤的痕迹。
他们话不多，但眼神专注，动作利落。
当刘师傅成功取出样品时，几个年轻研究员围过来，低声讨论着薄膜的色泽均匀度，语气里带着由衷的敬佩。
“刘师傅是我们所的宝贝。”顾赟感慨道，“这套沉积工艺，是他带着团队一点一点摸索出来的。没有理论指导，没有现成设备，全靠试错、观察、总结。每一个成功的参数组合，都是用上百次失败换来的。”
吕辰静静地听着，看着，心中涌起复杂的情绪。
他看到了局限，极低的真空度、粗糙的流量控制、依赖经验的工艺、简陋的检测手段。
这些问题，在未来集成电路制造中，都是致命的。
但他更看到了宝贵的东西，完整的工艺链框架、材料探索的初步尝试、解决实际问题的创新能力，以及最重要的是，那种在极端困难条件下依然坚持向微观世界发起“攻坚战”的精神。
这些研究人员，正在用最原始的工具，试图驾驭分子与原子。
他们的工作，看似在为电子管镀上一层保护膜，但本质上，是在探索物质表面改性的奥秘，是在为未来的表面科学与薄膜技术积累最原始的经验。